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JJF 1913-2021
(Calibration specification for laser interferometer)
中华人民共和国国家计量技术规范
激光干涉比长仪校准规范
2021-07-28发布
2022-01-28实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
激光干涉比长仪校准规范
代替JJG331-1994
归 口 单 位:全国几何量长度计量技术委员会
起 草 单 位:中国计量科学研究院
中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术
研究所
本规范由全国几何量长度计量技术委员会负责解释
本规范起草人:
孙双花 (中国计量科学研究院)
赵新丽 (中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所)
沈雪萍 (中国计量科学研究院)
高宏堂 (中国计量科学研究院)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语和定义 (1)
4 概述 (1)
5 计量特性 (2)
5.1 工作台运动直线度 (2)
5.2 瞄准重复性 (2)
5.3 测量重复性 (2)
5.4 影像测头示值误差 (2)
5.5 示值误差 (2)
6 校准条件 (2)
6.1 通用校准条件 (2)
6.2 环境条件 (2)
6.3 校准用标准器 (2)
7 校准项目和校准方法 (3)
7.1 工作台运动直线度 (3)
7.2 瞄准重复性 (3)
7.3 测量重复性 (4)
7.4 影像测头示值误差 (4)
7.5 示值误差 (5)
8 校准结果表达 (5)
9 复校时间间隔 (5)
附录A 激光干涉比长仪示值误差的测量不确定度评定示例 (6)
附录B 校准证书内容及内页格式 (8)
引 言
JJF1071 《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001 《通用计量术语及定义》和
JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列
规范。
本规范代替JJG331-1994 《激光干涉比长仪》。与JJG331-1994相比,除编辑性
修改外,主要技术变化如下:
---用激光干涉比长仪的示值误差代替比长仪的准确度;
---修改了测量重复性校准及其数据处理方法;
---增加了瞄准重复性及其校准方法;
---删除了激光平行光束的均匀性、干涉条纹的对比度及输出信号的质量、测量光
束与运动方向的一致性、工作台运动速度均匀性等检定项目;
---增加了对影像测头瞄准系统的相关校准项目;
---增加了附录A激光干涉比长仪示值误差的测量不确定度评定示例。
本规范历次版本发布情况为:
---JJG331-1994。
---JJG331-1983。
激光干涉比长仪校准规范
1 范围
本规范适用于测量范围为 (0~1000)mm的激光干涉比长仪的校准。
2 引用文件
本规范引用了下列文件:
JJG73-2005 高等别线纹尺
JJF1001-2011 通用计量术语及定义
JJF1059.1 测量不确定度评定与表示
JJF1094-2002 测量仪器特性评定
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本规范。
激光干涉比长仪能够有效测量的线纹尺最小刻线间隔。
4 概述
激光干涉比长仪是以激光波长为测长基准,直接测量线纹尺、线性位移传感器、激
光干涉仪等线值类长度测量标准的仪器。激光干涉比长仪由机械主体、测长系统、瞄准
系统、运动控制系统、照明系统、环境参量测量系统及......
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