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JJF 1932-2021 相关标准英文版PDF

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JJF 1932-2021 英文版 509 JJF 1932-2021 [PDF]天数 <=4 椭偏仪校准规范 JJF 1932-2021 有效
   
JJF 1932-2021: 椭偏仪校准规范 中华人民共和国国家计量技术规范 椭 偏 仪 校 准 规 范 2021-12-08发布 2022-06-08实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 椭偏仪校准规范 归 口 单 位:全国光学计量技术委员会 主要起草单位:中国计量科学研究院 中国兵器工业第二〇五研究所 参加起草单位:中国电子科技集团公司第四十一研究所 上海市计量测试技术研究院 陕西省计量科学研究院 本规范委托全国光学计量技术委员会负责解释 本规范主要起草人: 刘文德 (中国计量科学研究院) 陈 赤 (中国计量科学研究院) 王 雷 (中国兵器工业第二〇五研究所) 参加起草人: 孙权社 (中国电子科技集团公司第四十一研究所) 叶军安 (上海市计量测试技术研究院) 李 奕 (陕西省计量科学研究院) 目 录 引言 (Ⅱ) 1 范围 (1) 2 引用文件 (1) 3 术语和计量单位 (1) 4 概述 (2) 5 计量特性 (3) 5.1 波长示值误差 (3) 5.2 光谱带宽 (3) 5.3 入射角示值误差 (3) 5.4 椭偏角测量重复性 (3) 5.5 波片延迟量示值误差 (3) 5.6 椭偏角示值误差 (3) 6 校准条件 (3) 6.1 环境条件 (3) 6.2 测量标准及其他设备 (3) 7 校准项目和校准方法 (4) 7.1 校准前检查 (4) 7.2 波长示值误差 (4) 7.3 光谱带宽 (4) 7.4 椭偏角测量重复性 (4) 7.5 入射角示值误差 (4) 7.6 波片延迟量示值误差 (5) 7.7 椭偏角的示值误差 (6) 8 校准结果表达 (6) 9 复校时间间隔 (7) 附录A 校准证书内页格式 (供参考) (8) 附录B 校准原始记录格式 (供参考) (10) 附录C 不确定度评定示例 (12) 附录D 硅表面氧化硅的椭偏光学模型 (15) 附录E 波片调节示例 (16) 引 言 JJF1001 《通用计量术语及定义》、JJF1059.1 《测量不确定评定与表示》和 JJF1071 《国家计量校准规范编写规则》共同构成支撑本规范编订的基础性系列规范。 本规范为首次发布。 椭偏仪校准规范 1 范围 本规范适用于波长范围在250nm~2000nm内的椭偏仪的校准。 2 引用文件 本规范引用了下列文件: JJF1497 偏光仪校准规范 GJB/J5463 光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程 凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文 件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。 3 术语和计量单位 3.1 入射面 planeofincidence 入射光束和反射光束张成的面 [SEMIE141-0705椭偏装置6]。入射 (反射)角规 定为入射 (反射)光与样品表面法线之间的夹角,参见图1 (a)。 (a)入......